1164
        
Si        6.11871        20.4187        10.73785
Si        7.91638        23.55839        10.72809
Si        9.69974        26.6634        10.72158
Si        7.96094        17.29208        10.72481
Si        7.80305        17.56693        28.58785
Si        9.75853        20.43771        10.69212
Si        9.77883        20.47696        28.55422
Si        11.56847        23.57594        10.68672
Si        11.57842        23.60027        28.53292
Si        13.37076        26.72161        10.70312
Si        13.4137        26.7402        28.62534
Si        15.23992        29.91715        10.73784
Si        9.79681        14.1334        10.77383
Si        9.76867        14.11358        28.60037
Si        11.60921        17.28417        10.76752
Si        11.56313        17.27649        28.60567
Si        13.41775        20.43109        10.73913
Si        13.39542        20.43063        28.61939
Si        15.23335        23.57401        10.75694
Si        15.21169        23.57946        28.61331
Si        17.02736        26.72401        10.75842
Si        17.06988        26.70358        28.66648
Si        18.84359        29.85675        10.75171
Si        11.61398        10.96399        10.72429
Si        11.78168        10.69206        28.5856
Si        13.43164        14.12738        10.76723
Si        13.40918        14.09721        28.5973
Si        15.24912        17.28128        10.76238
Si        15.23992        17.28936        28.63999
Si        17.06791        20.4296        10.76183
Si        17.04086        20.43089        28.68325
Si        18.88663        23.57523        10.75699
Si        18.88211        23.53768        28.64963
Si        20.66115        26.71664        10.76344
Si        20.71825        26.676        28.67628
Si        22.36341        29.84843        10.61014
Si        13.39924        7.80523        10.73725
Si        15.23711        10.94781        10.69137
Si        15.29308        10.97704        28.56191
Si        17.06118        14.12029        10.73864
Si        17.054        14.14313        28.59305
Si        18.88482        17.28253        10.76167
Si        18.85187        17.30707        28.67989
Si        20.72397        20.44266        10.74944
Si        20.66186        20.41685        28.6684
Si        22.54876        23.60784        10.74329
Si        22.51961        23.54565        28.5699
Si        24.29281        26.83124        10.73689
Si        24.34598        26.6943        28.61847
Si        17.01756        7.79225        10.72681
Si        18.85999        10.94638        10.6857
Si        18.87978        10.97912        28.5686
Si        20.69073        14.12153        10.75637
Si        20.65558        14.15282        28.60109
Si        22.51817        17.28519        10.7568
Si        22.46192        17.30775        28.66072
Si        24.37729        20.44079        10.74317
Si        24.30629        20.44578        28.56282
Si        26.20605        23.60846        10.77116
Si        26.1635        23.57926        28.53796
Si        20.59852        7.78447        10.71978
Si        22.48544        10.93483        10.70195
Si        22.49668        11.00696        28.64509
Si        24.31553        14.10092        10.75777
Si        24.27832        14.16789        28.68799
Si        26.12582        17.25191        10.76303
Si        26.11437        17.31227        28.66218
Si        28.04061        20.34023        10.73598
Si        27.94733        20.44649        28.61249
Si        26.18729        10.95745        10.73585
Si        27.93657        14.10851        10.75039
Si        29.68915        17.16111        10.60923
Si        6.1295        18.3259        11.48514
Si        7.93044        21.47406        11.47407
Si        9.73239        24.59498        11.47321
Si        11.50828        27.7124        11.4575
Si        13.55031        31.16933        11.48468
Si        7.97465        15.19323        11.49789
Si        9.77807        18.34487        11.47697
Si        9.74274        18.39148        29.32876
Si        11.58021        21.48232        11.45853
Si        11.56949        21.52016        29.31107
Si        13.38973        24.62248        11.46346
Si        13.36532        24.63764        29.32116
Si        15.19002        27.79001        11.4668
Si        15.23762        27.61967        29.57534
Si        17.06081        30.92472        11.50412
Si        9.80326        12.02551        11.49756
Si        11.61622        15.18378        11.51167
Si        11.58672        15.16001        29.33733
Si        13.42694        18.33529        11.4992
Si        13.39711        18.31712        29.35421
Si        15.23741        21.47567        11.49497
Si        15.20324        21.48546        29.38625
Si        17.05192        24.62166        11.49767
Si        17.05283        24.59982        29.32943
Si        18.84527        27.76229        11.50378
Si        18.90071        27.59142        29.5995
Si        20.64088        30.93353        11.47568
Si        11.5927        8.86123        11.48478
Si        13.43442        12.01122        11.47634
Si        13.46022        11.96854        29.32534
Si        15.25074        15.17619        11.49887
Si        15.22908        15.17136        29.34222
Si        17.06625        18.33062        11.50409
Si        17.04698        18.34906        29.47943
Si        18.89265        21.47819        11.49763
Si        18.85993        21.44914        29.48034
Si        20.70522        24.62308        11.49722
Si        20.73052        24.57164        29.36334
Si        22.4539        27.79746        11.48986
Si        22.54225        27.58944        29.58331
Si        15.21967        8.84647        11.47299
Si        17.05265        12.00327        11.45763
Si        17.07825        12.04151        29.3222
Si        18.87548        15.17417        11.49446
Si        18.8476        15.20031        29.3761
Si        20.70507        18.3389        11.49747
Si        20.64844        18.34776        29.49465
Si        22.55151        21.49803        11.4833
Si        22.49598        21.4664        29.34035
Si        24.37003        24.68949        11.47012
Si        24.34913        24.58566        29.30066
Si        25.97786        28.09108        11.49314
Si        18.82368        8.84674        11.47172
Si        20.67689        12.00059        11.46244
Si        20.65981        12.04957        29.3323
Si        22.50704        15.17305        11.49715
Si        22.4431        15.20187        29.38028
Si        24.33472        18.33662        11.49693
Si        24.29777        18.37444        29.33186
Si        26.22443        21.47777        11.46978
Si        26.12363        21.50269        29.2982
Si        28.02206        24.65743        11.49881
Si        22.41168        8.8262        11.45562
Si        24.32006        11.97674        11.46571
Si        24.16872        12.13246        29.60004
Si        26.12347        15.15651        11.50308
Si        25.97645        15.28982        29.60503
Si        27.95807        18.26459        11.48911
Si        27.82206        18.43251        29.56804
Si        29.97386        21.17037        11.49221
Si        26.42684        8.86803        11.48192
Si        27.97022        12.03051        11.50241
Si        29.76767        15.12669        11.47436
Si        4.15509        21.55888        13.99113
Si        5.96427        24.72597        14.01344
Si        7.79203        27.87967        13.99129
Si        6.1265        18.35122        13.72183
Si        7.907        21.50673        13.71617
Si        9.71398        24.64669        13.71502
Si        11.53749        27.78014        13.6967
Si        13.42401        30.96584        13.70352
Si        7.98048        15.19296        13.72815
Si        9.77683        18.34653        13.71222
Si        11.57415        21.49096        13.70032
Si        11.40421        21.68023        31.52679
Si        13.38703        24.62917        13.69965
Si        13.09428        24.66643        31.53636
Si        15.20408        27.77477        13.69847
Si        17.06018        30.90946        13.72538
Si        9.80579        12.03095        13.72782
Si        11.61604        15.18394        13.73402
Si        11.59805        15.1266        31.56407
Si        13.42138        18.33554        13.7259
Si        13.42301        18.24786        31.58073
Si        15.23093        21.47991        13.72192
Si        15.15206        21.52593        31.6239
Si        17.04599        24.62375        13.72226
Si        17.04242        24.6599        31.52724
Si        18.85933        27.76456        13.72468
Si        20.69231        30.92621        13.70996
Si        11.61357        8.84614        13.72128
Si        13.43506        12.00967        13.71153
Si        15.24787        15.17172        13.72552
Si        15.24707        15.14098        31.57101
Si        17.06188        18.32846        13.72973
Si        17.04663        18.36953        31.77561
Si        18.88354        21.47948        13.72501
Si        18.8546        21.45327        31.77623
Si        20.70125        24.62801        13.7221
Si        20.9758        24.57121        31.58943
Si        22.49706        27.79723        13.71825
Si        24.38743        31.00645        13.89473
Si        13.40553        5.53482        13.99
Si        15.23672        8.81017        13.71498
Si        17.05688        11.99411        13.69931
Si        18.87556        15.16691        13.72133
Si        18.82814        15.19072        31.61636
Si        20.7013        18.33083        13.7248
Si        20.64879        18.35482        31.80081
Si        22.53711        21.48998        13.71312
Si        22.52951        21.468        31.57029
Si        24.35854        24.66084        13.70137
Si        26.11865        27.88001        13.71499
Si        17.0533        5.51814        14.01152
Si        18.85968        8.80531        13.71346
Si        20.68109        11.99528        13.69855
Si        22.50557        15.16715        13.72166
Si        22.35774        15.06268        31.61171
Si        24.33672        18.33096        13.72174
Si        24.43221        18.51173        31.53895
Si        26.19372        21.48226        13.70104
Si        28.00859        24.64951        13.71233
Si        20.69865        5.52447        13.98898
Si        22.48522        8.81808        13.69493
Si        24.3137        11.99651        13.69737
Si        26.1322        15.16752        13.72392
Si        27.97924        18.30203        13.71745
Si        29.86152        21.39757        13.71418
Si        26.18751        8.85985        13.70103
Si        27.95636        12.03729        13.72383
Si        29.78681        15.17467        13.70863
Si        31.70372        18.33519        13.89346
Si        4.29662        19.39202        14.51425
Si        6.07725        22.55545        14.54059
Si        7.89736        25.71672        14.54285
Si        9.7339        28.84695        14.51145
Si        6.15803        16.2424        14.46744
Si        7.9528        19.39887        14.45899
Si        9.74487        22.54205        14.45604
Si        11.56095        25.67838        14.44973
Si        13.37949        28.8354        14.42326
Si        15.25144        31.96955        14.4592
Si        7.98738        13.08905        14.47858
Si        9.79747        16.24401        14.47012
Si        11.59667        19.39153        14.45847
Si        13.4014        22.53081        14.45262
Si        13.27486        22.5911        32.30885
Si        15.21452        25.67318        14.44986
Si        17.03678        28.80751        14.45515
Si        18.87493        31.96914        14.46143
Si        9.80317        9.92794        14.46697
Si        11.62463        13.07889        14.4697
Si        13.43263        16.23287        14.47224
Si        13.42703        16.15521        32.31735
Si        15.24056        19.38125        14.46972
Si        15.16043        19.40173        32.38654
Si        17.05509        22.52503        14.46609
Si        16.99826        22.62052        32.31924
Si        18.87079        25.66682        14.46541
Si        20.67653        28.82451        14.46024
Si        22.49809        31.9974        14.47887
Si        11.59993        6.74097        14.51344
Si        13.43428        9.90381        14.45807
Si        15.24997        13.06337        14.4576
Si        17.06289        16.22469        14.4693
Si        17.01635        16.22268        32.39432
Si        18.8817        19.3794        14.46992
Si        18.82666        19.37903        32.83316
Si        20.70781        22.52856        14.46278
Si        20.74778        22.51161        32.39069
Si        22.52107        25.6888        14.45396
Si        24.30014        28.85686        14.49553
Si        15.23005        6.70114        14.53906
Si        17.05246        9.88429        14.45468
Si        18.87096        13.0569        14.45158
Si        20.69251        16.22447        14.46553
Si        20.63552        16.2084        32.42431
Si        22.52179        19.38643        14.46255
Si        22.58021        19.39516        32.35134
Si        24.36473        22.54531        14.44169
Si        26.1805        25.7319        14.42928
Si        27.81624        29.12002        14.47011
Si        18.87806        6.69699        14.54087
Si        20.67672        9.88917        14.44826
Si        22.49878        13.05623        14.44895
Si        24.32112        16.22622        14.46481
Si        26.1652        19.37686        14.45338
Si        28.03212        22.52493        14.42885
Si        29.82058        25.69585        14.46084
Si        22.5073        6.72269        14.50948
Si        24.32008        9.88592        14.42183
Si        26.12421        13.06757        14.45422
Si        27.95866        16.21157        14.45922
Si        29.79836        19.33405        14.49443
Si        31.78406        22.24802        14.46946
Si        27.97012        9.9408        14.45754
Si        29.78127        13.07918        14.46004
Si        31.61735        16.20326        14.47718
Si        4.35151        19.36076        16.72947
Si        6.1404        22.50768        16.74614
Si        7.97983        25.69902        16.75075
Si        9.79974        28.82443        16.73082
Si        6.17416        16.22597        16.69713
Si        7.98419        19.37762        16.69135
Si        9.77339        22.53538        16.69225
Si        11.6034        25.66978        16.68505
Si        13.41227        28.81114        16.66202
Si        15.22074        31.94858        16.66897
Si        7.98211        13.08584        16.71369
Si        9.80233        16.23246        16.70162
Si        11.60768        19.38355        16.69189
Si        13.41694        22.52745        16.68679
Si        15.23352        25.66975        16.68346
Si        17.05089        28.80803        16.67882
Si        18.86947        31.97815        16.68752
Si        9.79745        9.94999        16.6966
Si        11.61708        13.08897        16.70114
Si        13.43122        16.23237        16.70172
Si        15.24277        19.37978        16.69894
Si        17.05701        22.52514        16.69616
Si        18.87251        25.66702        16.69289
Si        20.68057        28.81198        16.68424
Si        22.50376        31.95354        16.68836
Si        11.60108        6.80413        16.72862
Si        13.43195        9.94175        16.69034
Si        15.24843        13.07728        16.6909
Si        17.06222        16.22807        16.69846
Si        18.87829        19.37804        16.69906
Si        20.69788        22.52532        16.69232
Si        22.51195        25.67145        16.68387
Si        24.31146        28.80961        16.70733
Si        15.22105        6.78007        16.74462
Si        17.06123        9.91276        16.69088
Si        18.87552        13.07259        16.6857
Si        20.69294        16.22674        16.69556
Si        22.51347        19.38003        16.69205
Si        24.34202        22.53239        16.67436
Si        26.16126        25.69048        16.664
Si        27.94545        28.88249        16.68715
Si        18.90448        6.77777        16.74882
Si        20.69053        9.93081        16.68372
Si        22.50487        13.07486        16.68264
Si        24.32151        16.22786        16.6923
Si        26.14519        19.37764        16.68323
Si        27.98657        22.52872        16.66356
Si        29.81033        25.68936        16.68279
Si        22.52094        6.79149        16.7291
Si        24.31512        9.9269        16.66105
Si        26.13113        13.07956        16.67817
Si        27.94928        16.22109        16.68323
Si        29.76287        19.36699        16.70616
Si        31.64312        22.47772        16.68656
Si        27.93605        9.92465        16.66774
Si        29.78573        13.06971        16.68631
Si        31.58192        16.22948        16.68665
Si        4.23473        23.40646        17.48696
Si        6.24833        26.89564        17.49764
Si        4.35227        17.26145        17.42788
Si        6.17611        20.41168        17.45369
Si        7.95877        23.58599        17.45948
Si        9.81177        26.72247        17.46234
Si        11.61707        29.87359        17.43251
Si        6.16019        14.13115        17.45951
Si        7.98903        17.27936        17.4426
Si        9.79318        20.43406        17.43758
Si        11.60136        23.57528        17.43459
Si        13.41999        26.71843        17.42908
Si        15.23019        29.84923        17.40757
Si        17.02198        33.023        17.38633
Si        7.97642        10.98523        17.45927
Si        9.79914        14.13493        17.4588
Si        11.61476        17.28399        17.44737
Si        13.42475        20.43053        17.43996
Si        15.23723        23.57452        17.43799
Si        17.05392        26.71508        17.43416
Si        18.86666        29.86879        17.41673
Si        20.70965        33.02937        17.40018
Si        9.78355        7.85443        17.4273
Si        11.61727        10.99501        17.4418
Si        13.43375        14.13325        17.44666
Si        15.24672        17.28105        17.44687
Si        17.06022        20.42788        17.44554
Si        18.87677        23.57162        17.44202
Si        20.68981        26.71589        17.43385
Si        22.49642        29.85216        17.4274
Si        13.42381        7.85886        17.45263
Si        15.25131        10.9805        17.43632
Si        17.06336        14.12802        17.4388
Si        18.87822        17.27863        17.44503
Si        20.69588        20.42762        17.44156
Si        22.51749        23.57377        17.42925
Si        24.33005        26.71184        17.42895
Si        26.11859        29.87387        17.45525
Si        15.04691        4.68022        17.48506
Si        17.06413        7.81598        17.45803
Si        18.87558        10.97629        17.4334
Si        20.69207        14.12594        17.43706
Si        22.50886        17.27969        17.44142
Si        24.33131        20.43156        17.42884
Si        26.16269        23.58351        17.40844
Si        27.97881        26.75059        17.40443
Si        19.07526        4.67984        17.49511
Si        20.70659        7.85295        17.46095
Si        22.50661        10.98005        17.42848
Si        24.31997        14.12884        17.43377
Si        26.13846        17.27724        17.43302
Si        27.95536        20.43197        17.42794
Si        29.81354        23.57248        17.40402
Si        24.33771        7.84123        17.43205
Si        26.12264        10.98232        17.40759
Si        27.95744        14.12175        17.41609
Si        29.75818        17.27358        17.42577
Si        31.58823        20.39968        17.454
Si        29.76665        10.94753        17.38605
Si        31.61645        14.13763        17.39813
Si        4.32049        23.56648        19.69142
Si        6.16934        26.758        19.70403
Si        4.35356        17.3052        19.6399
Si        6.18073        20.43111        19.66735
Si        7.97898        23.58389        19.67755
Si        9.81374        26.72396        19.68437
Si        11.6004        29.86474        19.65672
Si        6.13161        14.13415        19.69762
Si        7.98699        17.27375        19.67245
Si        9.80054        20.42888        19.66895
Si        11.61719        23.57744        19.66736
Si        13.43106        26.72479        19.66748
Si        15.23247        29.85044        19.62954
Si        16.86409        33.02363        19.5924
Si        7.96531        10.95849        19.69739
Si        9.78127        14.12452        19.69596
Si        11.61083        17.27626        19.68113
Si        13.43067        20.42791        19.67271
Si        15.24647        23.57913        19.6732
Si        17.06348        26.72602        19.66749
Si        18.87529        29.88638        19.63508
Si        20.89197        33.02315        19.60458
Si        9.82315        7.83346        19.63933
Si        11.61186        10.99601        19.67159
Si        13.4248        14.13426        19.68027
Si        15.24495        17.28105        19.67866
Si        17.06062        20.42857        19.678
Si        18.87543        23.57578        19.67529
Si        20.68821        26.72228        19.66527
Si        22.51554        29.84505        19.64112
Si        13.44413        7.85352        19.66644
Si        15.25079        10.99002        19.66765
Si        17.06338        14.13552        19.67136
Si        18.87766        17.28054        19.6774
Si        20.69056        20.42579        19.67373
Si        22.50555        23.57185        19.6623
Si        24.32299        26.71071        19.65756
Si        26.15644        29.8521        19.66696
Si        15.22965        4.67477        19.68951
Si        17.07318        7.83527        19.6764
Si        18.88525        10.98985        19.66641
Si        20.69964        14.13279        19.67233
Si        22.51037        17.27769        19.67467
Si        24.3229        20.42284        19.66182
Si        26.14182        23.57166        19.64351
Si        27.96528        26.72245        19.64079
Si        18.9175        4.68075        19.70162
Si        20.70878        7.85507        19.68342
Si        22.5169        10.98766        19.6675
Si        24.33288        14.13243        19.66752
Si        26.14207        17.27285        19.66445
Si        27.95037        20.42636        19.65633
Si        29.78241        23.57445        19.64032
Si        24.32069        7.8323        19.65698
Si        26.12344        10.98464        19.63062
Si        27.9758        14.1205        19.63488
Si        29.761        17.29325        19.63928
Si        31.58809        20.44273        19.6656
Si        29.68699        10.8106        19.59274
Si        31.70172        14.29787        19.6025
Si        4.35624        21.47467        20.40374
Si        6.15023        24.63571        20.40436
Si        7.99999        27.78151        20.42172
Si        4.3006        15.22823        20.41016
Si        6.17818        18.33831        20.38949
Si        7.98826        21.48472        20.41199
Si        9.80483        24.62715        20.4157
Si        11.62186        27.7796        20.42931
Si        13.41813        30.91388        20.3574
Si        6.1367        12.01976        20.42681
Si        7.95782        15.1781        20.44157
Si        9.79595        18.32905        20.42205
Si        11.61668        21.4794        20.41346
Si        13.43261        24.63113        20.41939
Si        15.24791        27.7731        20.41095
Si        17.03471        30.92583        20.34029
Si        7.99802        8.82568        20.41005
Si        9.78245        12.01832        20.44107
Si        11.60117        15.17589        20.43595
Si        13.42762        18.32879        20.42538
Si        15.24597        21.48047        20.42389
Si        17.06307        24.63118        20.42537
Si        18.878        27.78993        20.40759
Si        20.71791        30.92339        20.34737
Si        11.63041        8.89728        20.38891
Si        13.42987        12.03582        20.42063
Si        15.24387        15.18299        20.42387
Si        17.0611        18.33078        20.42846
Si        18.87575        21.47796        20.42666
Si        20.69066        24.6265        20.41896
Si        22.50744        27.76263        20.40727
Si        24.33771        30.90096        20.36372
Si        13.43632        5.7516        20.40256
Si        15.26018        8.89288        20.41145
Si        17.06799        12.03853        20.41205
Si        18.88172        15.18273        20.42216
Si        20.69367        18.32836        20.42588
Si        22.50675        21.47379        20.41319
Si        24.32311        24.617        20.40099
Si        26.14278        27.75689        20.39976
Si        17.0703        5.72541        20.40261
Si        18.8888        8.89588        20.41581
Si        20.70451        12.03604        20.41937
Si        22.51828        15.18052        20.42486
Si        24.32809        18.32374        20.41814
Si        26.13722        21.47384        20.40004
Si        27.9598        24.62081        20.38458
Si        20.71865        5.7553        20.41968
Si        22.52579        8.89406        20.4303
Si        24.3322        12.03716        20.41284
Si        26.16122        15.17145        20.40778
Si        27.95324        18.32779        20.40513
Si        29.76669        21.47865        20.39838
Si        26.1368        8.8824        20.36037
Si        27.95537        12.00743        20.34244
Si        29.79594        15.19712        20.34549
Si        31.58686        18.34294        20.36145
Si        4.32085        21.50081        22.61308
Si        6.15509        24.62614        22.63032
Si        7.96627        27.76607        22.63142
Si        4.16019        15.45808        22.62692
Si        6.14366        18.37139        22.60139
Si        7.97969        21.494        22.63525
Si        9.81236        24.63977        22.63823
Si        11.61709        27.82231        22.66697
Si        13.43177        30.98463        22.57581
Si        6.1319        12.01602        22.65246
Si        7.91575        15.18286        22.67948
Si        9.77962        18.33036        22.65346
Si        11.62004        21.48206        22.6413
Si        13.43981        24.64991        22.65308
Si        15.26201        27.81437        22.64574
Si        17.06094        31.00727        22.54733
Si        8.1286        8.58833        22.62674
Si        9.7662        11.97925        22.67891
Si        11.58334        15.16609        22.67138
Si        13.44013        18.30145        4.79947
Si        13.42444        18.32593        22.6579
Si        15.29702        21.48797        4.80023
Si        15.24859        21.4835        22.65784
Si        17.06764        24.6441        22.66247
Si        18.88689        27.81572        22.64419
Si        20.70845        31.00138        22.55304
Si        11.64361        8.85118        22.60111
Si        13.42316        12.02184        22.65176
Si        15.22909        15.20308        4.79933
Si        15.23861        15.18422        22.65579
Si        17.06341        18.32795        4.81859
Si        17.05897        18.33291        22.66339
Si        18.87724        21.46486        4.81657
Si        18.87288        21.47994        22.66189
Si        20.68803        24.63645        22.65436
Si        22.50457        27.79844        22.63938
Si        24.33828        30.96344        22.57859
Si        13.44283        5.7084        22.61195
Si        15.26558        8.88224        22.63541
Si        17.07179        12.04161        22.63991
Si        18.91706        15.21825        4.80003
Si        18.88357        15.18664        22.65556
Si        20.68691        18.33042        4.81663
Si        20.69101        18.32912        22.66087
Si        22.38792        21.40191        4.5789
Si        22.5015        21.47198        22.64516
Si        24.31392        24.62549        22.63166
Si        26.1362        27.77775        22.6283
Si        17.06547        5.73542        22.62878
Si        18.90366        8.89792        22.63956
Si        20.72309        12.03493        22.65386
Si        22.5287        15.18066        22.66217
Si        24.33325        18.31769        22.65351
Si        26.13918        21.46223        22.6304
Si        27.95283        24.61667        22.618
Si        20.68853        5.7349        22.62953
Si        22.55849        8.871        22.66937
Si        24.37226        12.03086        22.64933
Si        26.18518        15.1672        22.64507
Si        27.98182        18.30732        22.6366
Si        29.78112        21.46205        22.62663
Si        26.20195        8.86067        22.58009
Si        28.03613        11.99117        22.55126
Si        29.85786        15.15015        22.55092
Si        31.64104        18.31153        22.57603
Si        4.23617        19.36897        23.19773
Si        6.15038        22.53058        23.38257
Si        7.97944        25.66973        23.366
Si        9.74908        28.84815        23.38646
Si        6.08277        16.30902        23.38506
Si        7.96192        19.4041        23.38002
Si        9.80498        22.54007        23.37004
Si        11.62294        25.71278        23.39269
Si        13.45321        28.88998        23.39085
Si        15.24071        32.18255        23.09493
Si        7.94302        13.06218        23.40939
Si        9.7536        16.22592        23.41242
Si        11.55094        19.18229        5.54002
Si        11.60697        19.37943        23.39117
Si        13.57453        22.66551        5.53534
Si        13.43466        22.54161        23.39145
Si        15.2571        25.70957        23.40576
Si        17.07959        28.89897        23.37677
Si        18.88527        32.18667        23.07573
Si        9.82672        9.82868        23.38459
Si        11.58761        13.05105        23.41108
Si        13.43503        16.23288        5.57708
Si        13.41108        16.22343        23.40731
Si        15.24605        19.38404        5.55205
Si        15.24163        19.38233        23.41242
Si        17.09443        22.53008        5.57311
Si        17.06208        22.53828        23.4143
Si        18.88224        25.70636        23.4115
Si        20.70221        28.89192        23.38077
Si        22.53236        32.16949        23.10017
Si        11.55427        6.70016        23.19719
Si        13.44685        9.91127        23.3802
Si        15.04751        13.12659        5.5398
Si        15.24409        13.08249        23.38712
Si        17.06942        16.22604        5.5519
Si        17.06021        16.23435        23.40807
Si        18.87817        19.37584        5.57156
Si        18.87381        19.38151        23.41953
Si        20.69824        22.52366        5.51031
Si        20.6882        22.53045        23.40277
Si        22.50363        25.69289        23.39176
Si        24.32504        28.85835        23.37253
Si        15.24893        6.77933        23.38155
Si        17.08284        9.9419        23.37339
Si        19.07581        13.13781        5.53498
Si        18.89483        13.08556        23.38936
Si        20.71801        16.25398        5.57316
Si        20.70203        16.23256        23.41146
Si        22.51421        19.37802        5.51058
Si        22.50958        19.37276        23.40261
Si        24.32084        22.52143        23.37153
Si        26.13388        25.6745        23.36761
Si        18.88039        6.79495        23.36537
Si        20.73516        9.93155        23.39858
Si        22.54704        13.08087        23.40827
Si        24.35532        16.2194        23.41224
Si        26.15756        19.36035        23.38837
Si        27.95866        22.51218        23.36614
Si        22.51564        6.73948        23.38501
Si        24.39865        9.92778        23.39768
Si        26.21869        13.06225        23.38362
Si        28.02694        16.19944        23.37737
Si        29.81088        19.35279        23.36917
Si        28.14396        9.82744        23.0997
Si        29.97155        12.97962        23.07667
Si        31.78279        16.14424        23.09642
Si        6.16873        22.57841        25.61655
Si        7.96501        25.67751        25.58684
Si        9.50907        28.84154        25.60534
Si        5.97218        16.53594        25.60655
Si        8.12249        19.26816        7.51217
Si        7.98258        19.44172        25.60728
Si        9.96022        22.41862        7.48852
Si        9.81233        22.55285        25.58782
Si        11.76693        25.58413        7.50073
Si        11.61599        25.73793        25.62064
Si        13.52696        28.88881        25.62714
Si        7.9417        13.06043        25.63342
Si        9.82067        16.20287        7.79585
Si        9.72891        16.23269        25.64804
Si        11.63858        19.33318        7.76692
Si        11.61142        19.37845        25.6183
Si        13.4844        22.52069        7.76236
Si        13.43365        22.54086        25.61885
Si        15.28107        25.65905        7.78037
Si        15.26055        25.70823        25.64327
Si        17.11642        28.86105        25.61589
Si        9.97073        9.61918        25.6059
Si        11.60139        13.11836        7.79557
Si        11.58207        13.02708        25.64624
Si        13.44255        16.23768        7.80459
Si        13.40651        16.22279        25.64083
Si        15.26211        19.37858        7.7836
Si        15.24058        19.38329        25.65098
Si        17.09311        22.52039        7.79851
Si        17.05924        22.53145        25.65343
Si        18.87169        25.66498        7.78369
Si        18.88764        25.69259        25.65625
Si        20.71978        28.85356        25.62292
Si        13.40745        10.11489        7.51174
Si        13.49323        9.91302        25.60835
Si        15.22135        13.12768        7.76662
Si        15.24663        13.09087        25.6124
Si        17.0723        16.24326        7.78343
Si        17.05761        16.24279        25.64425
Si        18.90176        19.38996        7.79646
Si        18.86492        19.38334        25.66206
Si        20.74836        22.54682        7.75876
Si        20.68383        22.52052        25.63776
Si        22.49573        25.74733        7.77619
Si        22.5052        25.6886        25.62747
Si        24.34641        28.84239        25.60837
Si        15.30116        6.77254        25.61551
Si        17.05476        10.1315        7.48779
Si        17.0992        9.94489        25.59445
Si        18.90472        13.13276        7.76186
Si        18.89213        13.08966        25.61614
Si        20.70845        16.25848        7.79843
Si        20.68848        16.24327        25.6494
Si        22.55869        19.41102        7.75888
Si        22.49594        19.37596        25.63813
Si        24.4303        22.58222        7.82772
Si        24.31969        22.52145        25.59405
Si        26.13726        25.67917        25.59639
Si        18.88096        6.77981        25.58651
Si        20.69975        10.11398        7.49975
Si        20.75054        9.91681        25.63079
Si        22.52086        13.12043        7.77963
Si        22.54096        13.09143        25.64721
Si        24.32083        16.22713        7.78333
Si        24.34024        16.23348        25.65801
Si        26.20369        19.32436        7.77572
Si        26.15361        19.36333        25.62269
Si        27.96454        22.51151        25.59453
Si        22.39118        6.53551        25.60348
Si        24.42711        9.99743        25.63727
Si        26.19614        13.11735        25.62662
Si        28.0015        16.23306        25.61789
Si        29.80741        19.37799        25.60419
Si        6.24812        20.54366        26.48218
Si        7.99866        23.59965        26.33956
Si        9.7476        26.7528        26.35151
Si        7.99399        17.25717        8.47544
Si        7.90584        17.36777        26.36623
Si        9.82006        20.39431        8.42861
Si        9.81097        20.45869        26.33317
Si        11.64548        23.55241        8.42292
Si        11.61933        23.6148        26.32401
Si        13.44252        26.70531        8.45592
Si        13.44982        26.7833        26.38347
Si        15.34203        29.92895        26.3601
Si        9.78303        14.12491        8.55376
Si        9.75738        14.11029        26.37715
Si        11.62768        17.26375        8.54895
Si        11.57506        17.27469        26.37385
Si        13.44159        20.42016        8.50587
Si        13.42083        20.43638        26.38076
Si        15.27723        23.56651        8.53833
Si        15.24199        23.59434        26.38154
Si        17.06643        26.7266        8.53472
Si        17.08105        26.76424        26.40882
Si        18.92225        29.91513        26.35909
Si        11.60123        11.00915        8.47487
Si        11.65693        10.88067        26.36471
Si        13.4236        14.15294        8.54869
Si        13.40656        14.10936        26.36807
Si        15.25837        17.28622        8.53643
Si        15.23304        17.28252        26.39811
Si        17.07928        20.42622        8.53703
Si        17.05251        20.43294        26.42668
Si        18.91104        23.56982        8.52824
Si        18.87852        23.57593        26.40519
Si        20.65708        26.7327        8.53775
Si        20.70438        26.75199        26.41267
Si        22.53944        29.89824        26.35439
Si        13.58027        7.85942        26.48214
Si        15.23129        11.02225        8.42797
Si        15.2865        10.99364        26.33695
Si        17.06408        14.14588        8.50547
Si        17.06524        14.13944        26.36365
Si        18.88791        17.29354        8.53691
Si        18.86837        17.29246        26.42313
Si        20.73433        20.44828        8.51749
Si        20.67881        20.42434        26.41413
Si        22.5677        23.62359        8.51065
Si        22.50613        23.57395        26.34909
Si        24.17119        27.02239        8.51396
Si        24.32692        26.73951        26.37047
Si        17.09899        7.84807        26.34078
Si        18.87907        11.02435        8.42202
Si        18.91602        10.98355        26.34438
Si        20.70657        14.16288        8.53787
Si        20.70126        14.14158        26.37402
Si        22.52599        17.30849        8.52816
Si        22.50237        17.28601        26.41063
Si        24.40064        20.4486        8.51059
Si        24.32302        20.42418        26.34445
Si        26.2388        23.62647        8.57075
Si        26.14338        23.57133        26.32013
Si        20.70207        7.78717        26.35347
Si        22.50804        11.00511        8.4549
Si        22.56623        10.98898        26.3975
Si        24.33778        14.13303        8.53417
Si        24.35978        14.13862        26.42293
Si        26.13798        17.23961        8.53747
Si        26.1729        17.27031        26.40367
Si        28.14558        20.13815        8.51291
Si        27.97628        20.41262        26.36552
Si        26.23507        11.04678        26.37195
Si        28.0176        14.14925        26.36267
Si        29.81845        17.28406        26.34655
H        5.98574        20.48288        9.30691
H        4.90241        21.10809        11.07609
H        7.79339        23.61981        9.29439
H        6.70243        24.24987        11.0777
H        9.56048        26.70992        9.28998
H        8.47523        27.33684        11.0648
H        7.36804        16.34881        29.24916
H        6.71813        18.4831        28.95961
H        8.58672        21.19521        29.02386
H        12.2079        27.41277        29.12968
H        15.279        29.96278        9.2692
H        9.6468        12.79123        29.15311
H        8.56662        14.66955        29.16204
H        18.83692        29.86184        9.28212
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H        22.18871        29.77912        9.15448
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H        13.19256        22.63586        33.77592
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H        15.05936        19.3699        33.84831
H        16.94801        22.93544        33.74927
H        22.50775        33.39732        14.02948
H        10.39054        6.0314        14.0716
H        16.98845        16.16695        33.86271
Si        18.75852        19.57483        35.37149
H        20.84848        22.56107        33.85531
H        20.64179        16.1332        33.89193
H        22.86235        19.42213        33.78688
H        27.59303        30.53551        14.15142
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H        25.53665        13.43984        8.04102
Si        18.62477        19.28663        37.8452
C        18.73993        20.06124        39.75414
C        17.62324        20.584        40.42917
C        19.97008        19.7929        40.65102
C        19.85683        19.90146        42.06333
C        17.5858        20.70389        41.874
C        15.30814        21.53568        41.83651
C        15.31751        21.46534        40.45022
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C        22.334        19.23853        41.03008
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C        19.72526        17.78999        38.01038
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C        16.43287        21.15878        42.54351
H        19.40451        17.0317        37.27523
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H        14.43784        21.78552        39.90733
H        16.38814        21.00131        38.69204
